無塵室空調系統

無塵室依等級的不同而在氣流設計上 會有所區別，一般可分為，垂直層流方式、水平層流方式、 亂流方式。不論採取哪一種都必須以正壓的方式， 亦即無塵室內部壓力較大氣壓力大，空氣則會從無塵室往外部流動，因此就不會將外界的污染物帶進無塵室。